所属組織 |
大学院工学研究院 知的構造の創生部門 |
職名 |
教授 |
生年 |
1957年 |
メールアドレス |
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ホームページ |
出身大学院 【 表示 / 非表示 】
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-1985年
東京大学 工学系研究科 電子工学専攻 博士課程 修了
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-1982年
東京大学 工学系研究科 電子工学専攻 修士課程(博士前期課程) 修了
学内所属歴 【 表示 / 非表示 】
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2003年10月-継続中
専任 横浜国立大学 大学院工学研究院 知的構造の創生部門 教授
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2001年04月-2003年09月
専任 横浜国立大学 大学院工学研究院 知的構造の創生部門 助教授
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1999年04月-2001年03月
専任 横浜国立大学 大学院工学研究科 助教授
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1989年06月-1999年03月
専任 横浜国立大学 工学部 助教授
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1985年04月-1989年05月
専任 横浜国立大学 工学部 講師
学位論文 【 表示 / 非表示 】
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SiO2中のトラップによる電子捕獲に関する研究
羽路 伸夫
1985年03月
学位論文(博士) 単著
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電子ビームアニールに関する研究
羽路 伸夫
1982年03月
学位論文(修士) 単著
論文 【 表示 / 非表示 】
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Preparation of Amorphous Fluorinated Carbon Film Using Low Global-Warming Potential Gas, C4F6, by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Hiroki Watanabe, Takumi Tokimitsu, Jyunko Shiga, Nobuo Haneji and Yukihiro Shimogaki
Jap. J. Appl. Phys 45 ( 6 ) L151 - L153 2006年02月 [査読有り]
共著
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Improved Etched Surface Morphology in Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of GaN by Cyclic Injection of CH4/H2/Ar and O2 with Constant Ar Flow
Taro Arakawa, Yoshiki Awa, Tomoyoshi Ide, Nobuo Haneji, Kunio Tada, Masakazu Sugiyama, Hiromasa Shi … 全著者表示
Taro Arakawa, Yoshiki Awa, Tomoyoshi Ide, Nobuo Haneji, Kunio Tada, Masakazu Sugiyama, Hiromasa Shimizu, Yukihiro Shimogaki and Yoshiaki Nakano 閉じる
Jap. J. Appl. Phys 44 ( 7B ) 5819 - 5823 2005年06月 [査読有り]
共著
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Electrical and Thermal Stability Characteristics of HfCN Films as Metal Gate-Electrode Synthesized by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
Wenwu Wang, Toshihide Nabatame, Nobuo Haneji and Yukihiro Shimogaki
Jap. J. Appl. Phys 44 ( 32 ) L1019 - 1021 2005年06月 [査読有り]
共著
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液相堆積シリコン酸化膜/シリコン界面特性の改善
羽路伸夫,ポーンケオ・チャンタマリー,毛利重信
電気学会論文誌C 123 ( 10 ) 1695 - 1699 2003年10月 [査読有り]
共著
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Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of III-V Semiconductors by Cyclic Injection of CH4/H2/Ar and O2 with Constant Ar Flow
N. Haneji, G. Segami, T. Ide, T. Suzuki, T. Arakawa, K. Tada, Y. Shimogaki and Y. Nakano
Jpn. J. Appl. Phys. 42 ( 6B ) 3958 - 3961 2003年06月 [査読有り]
共著
担当授業科目(学内) 【 表示 / 非表示 】
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大学院工学府 システムデバイス実習
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大学院工学府 エレクトロニクス実装実習S
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大学院理工学府 システムデバイス実習
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大学院理工学府 半導体デバイス特論
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大学院理工学府 エレクトロニクス実装実習F