論文 - 為近 恵美
件数 56 件-
A reliable aptamer array prepared by repeating inkjet-spotting toward on-site measurement
Inoue Suzuyo, Seyama Michiko, Miura Toru, Horiuchi Tsutomu, Iwasaki Yuzuru, Takahashi Jun-ichi, Hay … 全著者表示
Inoue Suzuyo, Seyama Michiko, Miura Toru, Horiuchi Tsutomu, Iwasaki Yuzuru, Takahashi Jun-ichi, Hayashi Katsuyoshi, Tamechika Emi 閉じる
BIOSENSORS & BIOELECTRONICS 85 943 - 949 2016年11月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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パネルディスカッション
為近 恵美, 伊賀 健一, 高井 まどか, 中島 寛, 根本 香絵
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 ( 0 ) 34 - 34 2016年3月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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波多野 睦子, 川原田 洋, 為近 恵美, 森 勇介
学術の動向 21 ( 12 ) 12_63 - 12_63 2016年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益財団法人 日本学術協力財団 共著
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Polymer brush biointerfaces for highly sensitive biosensors that preserve the structure and function of immobilized proteins
Takasu Kenji, Kushiro Keiichiro, Hayashi Katsuyoshi, Iwasaki Yuzuru, Inoue Suzuyo, Tamechika Emi, T … 全著者表示
Takasu Kenji, Kushiro Keiichiro, Hayashi Katsuyoshi, Iwasaki Yuzuru, Inoue Suzuyo, Tamechika Emi, Takai Madoka 閉じる
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL 216 428 - 433 2015年9月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Recent Activities for the Promotion of Gender Equality in the Societies of Physics in Japan
Mori H., Sasao M., Nemoto K., Tamechika E., Watanabe M. O.
WOMEN IN PHYSICS: 5TH IUPAP INTERNATIONAL CONFERENCE ON WOMEN IN PHYSICS 1697 2015年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Air-band optical resonators in one-dimensional Si photonic crystal waveguides for biosensing applications
Hirai Kakuro, Araki Takahiro, Cai Jingnan, Hayashi Katsuyoshi, Horiuchi Tsutomu, Iwasaki Yuzuru, Ue … 全著者表示
Hirai Kakuro, Araki Takahiro, Cai Jingnan, Hayashi Katsuyoshi, Horiuchi Tsutomu, Iwasaki Yuzuru, Ueno Yuko, Tamechika Emi, Wada Kazumi, Ishikawa Yasuhiko 閉じる
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 53 ( 4 ) 2014年4月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Simulation tool for the prediction of compound dependence of CW-photoacoustic-based sensor using dual optical excitation
Camou S., Tamechika E.
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL 189 224 - 229 2013年12月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Isothermic determination of aqueous solution glucose concentration in low mg/dL range by CW-photoacoustic-based protocol
Camou S., Ueno Y., Tamechika E.
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL 185 568 - 574 2013年8月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Noninvasive and Continuous in vivo Monitoring of Physiological Parameter Variations Based on CW-Photoacoustic Protocol: Application to Body Temperature Measurements
Camou Serge, Tamechika Emi
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 ( 0 ) 616 - 616 2013年3月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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オンチップ構造を用いた酸化グラフェンアプタセンサの性能評価
古川 一暁, 上野 祐子, 松尾 光太, 井上 鈴代, 林 勝義, 為近 恵美, 日比野 浩樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 ( 0 ) 2286 - 2286 2013年3月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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エアバンド光共振器を有するシリコンフォトニック結晶バイオセンサ
平井 格郎, 荒木 貴裕, 蔡 靖楠, 和田 一実, 石川 靖彦, 林 勝義, 堀内 勉, 岩崎 弦, 上野 祐子, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 ( 0 ) 1092 - 1092 2013年3月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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Graphene-modified Interdigitated Array Electrode: Fabrication, Characterization, and Electrochemical Immunoassay Application
Ueno Yuko, Furukawa Kazuaki, Hayashi Katsuyoshi, Takamura Makoto, Hibino Hiroki, Tamechika Emi
ANALYTICAL SCIENCES 29 ( 1 ) 55 - 60 2013年1月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Effects of Sensing Layer Thickness on Biosensing Using Partially-Slotted Si Photonic Crystal Waveguides
Araki Takahiro, Hirai Kakuro, Cai Jingnan, Ishikawa Yasuhiko, Wada Kazumi, Hayashi Katsuyoshi, Hori … 全著者表示
Araki Takahiro, Hirai Kakuro, Cai Jingnan, Ishikawa Yasuhiko, Wada Kazumi, Hayashi Katsuyoshi, Horiuchi Tsutomu, Iwasaki Yuzuru, Ueno Yuko, Tamechika Emi 閉じる
2013 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS PACIFIC RIM (CLEO-PR) 2013年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Protein recognition on a single graphene oxide surface fixed on a solid support
Furukawa Kazuaki, Ueno Yuko, Tamechika Emi, Hibino Hiroki
JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY B 1 ( 8 ) 1119 - 1124 2013年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Cooperative Suction by Vertical Capillary Array Pump for Controlling Flow Profiles of Microfluidic Sensor Chips
Horiuchi Tsutomu, Hayashi Katsuyoshi, Seyama Michiko, Inoue Suzuyo, Tamechika Emi
SENSORS 12 ( 10 ) 14053 - 14067 2012年10月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Floating Chip Mounting System Driven by Repulsive Force of Permanent Magnets for Multiple On-Site SPR Immunoassay Measurements
Horiuchi Tsutomu, Tobita Tatsuya, Miura Toru, Iwasaki Yuzuru, Seyama Michiko, Inoue Suzuyo, Takahas … 全著者表示
Horiuchi Tsutomu, Tobita Tatsuya, Miura Toru, Iwasaki Yuzuru, Seyama Michiko, Inoue Suzuyo, Takahashi Jun-ichi, Haga Tsuneyuki, Tamechika Emi 閉じる
SENSORS 12 ( 10 ) 13964 - 13984 2012年10月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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アプタマ修飾した酸化グラフェンを用いた新規タンパク質検出法の提案と実証
古川 一暁, 上野 祐子, 為近 恵美, 日比野 浩樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 ( 0 ) 2494 - 2494 2012年8月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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部分スロット共振器を有する一次元シリコンフォトニック結晶光導波路のバイオセンシング応用
荒木 貴裕, 石川 靖彦, 和田 一実, 林 勝義, 堀内 勉, 岩崎 弦, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 ( 0 ) 1116 - 1116 2012年8月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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表面プラズモン共鳴による流速測定法を用いた血液凝固検査(APTT)方法の検討
井上 鈴代, 林 勝義, 瀬山 倫子, 岩崎 弦, 堀内 勉, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 ( 0 ) 2338 - 2338 2012年8月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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Detection of Aqueous Glucose Based on a Cavity Size- and Optical-Wavelength-Independent Continuous-Wave Photoacoustic Technique
Camou S., Haga T., Tajima T., Tamechika E.
ANALYTICAL CHEMISTRY 84 ( 11 ) 4718 - 4724 2012年6月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Passive Fluidic Chip Composed of Integrated Vertical Capillary Tubes Developed for On-Site SPR Immunoassay Analysis Targeting Real Samples
Horiuchi Tsutomu, Miura Toru, Iwasaki Yuzuru, Seyama Michiko, Inoue Suzuyo, Takahashi Jun-ichi, Hag … 全著者表示
Horiuchi Tsutomu, Miura Toru, Iwasaki Yuzuru, Seyama Michiko, Inoue Suzuyo, Takahashi Jun-ichi, Haga Tsuneyuki, Tamechika Emi 閉じる
SENSORS 12 ( 6 ) 7095 - 7108 2012年6月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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ＣＷ-光音響法によりグルコースの水溶液サンプルの非侵襲で連続モニタリングの測定法
上野 裕子, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 ( 0 ) 662 - 662 2012年2月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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Portable Sensor for Determining Benzene Concentration from Airborne/liquid Samples with High Accuracy
Camou Serge, Tamechika Emi, Horiuchi Tsutomu
NTT Technical Review 10 ( 2 ) 38 - 44 2012年2月
記述言語：その他外国語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：NTT先端技術総合研究所 共著
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Terahertz Chemical Imaging of a Multicomponent Tablet in Pharmaceutical Applications
Ajito Katsuhiro, Ueno Yuko, Song Ho-Jin, Kim Jae-Young, Tamechika Emi, Kukutsu Naoya, Limwikrant Wa … 全著者表示
Ajito Katsuhiro, Ueno Yuko, Song Ho-Jin, Kim Jae-Young, Tamechika Emi, Kukutsu Naoya, Limwikrant Waree, Yamamoto Keiji, Moribe Kunikazu 閉じる
CHEMICAL SENSORS 10 -AND- MEMS/NEMS 10 50 ( 12 ) 109 - 116 2012年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Simulation Tool for the Prediction of Compound Dependence of CW-Photoacoustic-based Sensor using Dual Differential Optical Excitation
Camou S., Ueno Y., Tamechika E.
26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012 47 474 - 477 2012年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Noninvasive and Continuous Measurement of Body Temperature Variations Based on CW-PA Protocol
Camou S., Ueno Y., Tamechika E.
2012 IEEE SENSORS PROCEEDINGS 797 - 800 2012年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Near-Infrared Photoluminescence Spectral Imaging of Chemically Oxidized Graphene Flakes
Ueno Yuko, Tamechika Emi, Furukawa Kazuaki, Suzuki Satoru, Hibino Hiroki
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 10 ( 0 ) 513 - 517 2012年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 日本表面科学会 共著
In order to determine the local structure of carbon <i>sp</i><sup>2</sup> clusters in chemically modified graphene oxide (GO) flakes, their luminescence was analyzed, using near-infrared photoluminescence (NIR PL) spectral imaging. GO flakes emit a broad PL spectrum of wavelengths of 800 to 1400 nm, indicating that they contain <i>sp</i><sup>2</sup> clusters, whose size is theoretically estimated to be in the 1.3 to 2.3 nm region. The size distribution of such <i>sp</i><sup>2</sup> clusters is fairly uniform at different positions and for different numbers of layers of GO, at the spatial resolution of NIR PL image (5μm). The analysis by transmission electron microscopy directly confirmed the existence of such <i>sp</i><sup>2</sup> clusters and the estimated size of the <i>sp</i><sup>2</sup> clusters was widely ranged from 0.5 to 4 nm. The effect of the GO reduction to the local structure of carbon <i>sp</i><sup>2</sup> clusters was also studied and it was found that the NIR PL intensity decreased as the reduction progressed and that there was no large spectral shift. [DOI: 10.1380/ejssnt.2012.513]
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CW-photoacoustic-based protocol for the selective and non-invasive monitoring of aqueous glucose level
上野 祐子, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 ( 0 ) 342 - 342 2011年8月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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Quantitative Analysis of Amino Acids in Dietary Supplements Using Terahertz Time-domain Spectroscopy
Ueno Yuko, Ajito Katsuhiro, Kukutsu Naoya, Tamechika Emi
ANALYTICAL SCIENCES 27 ( 4 ) 351 - 356 2011年4月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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New OPBS protocol for selective, continuous, and non-invasive monitoring of blood glucose level based on the CW photoacoustic method
上野 祐子, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 ( 0 ) 750 - 750 2011年3月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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D-9-18 ユビキタスヘルスケアシステムのフィールド実験におけるユーザ行動解析(D-9.ライフインテリジェンスとオフィス情報システム,一般セッション)
岡部 勇一, 清倉 孝規, 伊良波 朝人, 當山 弘哲, 山越 康裕, 為近 恵美
電子情報通信学会総合大会講演論文集 2011 ( 1 ) 2011年2月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会 共著
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Terahertz Spectroscopic Imaging of Polymorphic Forms in Pharmaceutical Crystals
Ajito Katsuhiro, Ueno Yuko, Song Ho-Jin, Tamechika Emi, Kukutsu Naoya
MOLECULAR CRYSTALS AND LIQUID CRYSTALS 538 33 - 38 2011年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Terahertz Chemical Imaging of Molecular Networks for Pharmaceutical Applications
Ajito Katsuhiro, Ueno Yuko, Song Ho-Jin, Tamechika Emi, Kukutsu Naoya
BIOELECTRONICS, BIOINTERFACES, AND BIOMEDICAL APPLICATIONS 4 35 ( 7 ) 157 - 165 2011年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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New CW-Photoacoustic-based Protocol for Noninvasive and Selective Determination of Aqueous Glucose Level: a Potential Alternative towards Noninvasive Blood Sugar Sensing
Camou S., Ueno Y., Tamechika E.
2011 IEEE SENSORS 798 - 801 2011年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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フィールドトライアルにおいてユビキタスヘルスケアシステムの有効性を実証
岡部 勇一, 為近 恵美, 福田 浩, 清倉 孝規, 新藤 一彦, 山口 初代, 宮平 真由美, 伊良波 朝人, 當山 弘哲, 上野 睦弘
生体医工学 49 ( 1 ) 255 - 259 2011年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 日本生体医工学会 共著
We developed a “ubiquitous” healthcare system using active tag technologies. Our system does not require any kind of PC operation, and the workload borne by users is low. In addition, we developed a data browsing terminal (called the Kiosk terminal) for our system. The terminal also uses active tag technologies and does not require any keyboard or mouse operation to browse data. We are currently conducting a field trial of our system in Zamami village, Okinawa, supported by the Ministry of Internal Affairs and Communications. Unlike another system using USB data transmission technologies, our system can collect vital data without fail. Heavily used facilities can be revealed by analyzing the usage frequency of active tag data receivers, and such knowledge is important for optimizing the system. After the installation of Kiosk terminals, the average number of steps per day of Kiosk users, as recorded by their pedometers, increased by more than twice that before installation.
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B-20-30 広帯域429MHzアクティブタグのフィールドにおける受信実験(B-20.ユビキタス・センサネットワーク,一般セッション)
清倉 孝規, 岡部 勇一, 福田 浩, 新藤 一彦, 為近 恵美, 伊良波 朝人, 平良 俊政, 國吉 徹, 上野 睦弘
電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2010 ( 2 ) 2010年8月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会 共著
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B-20-14 ユビキタスヘルスケアシステムにおけるデータ閲覧端末の導入効果について(B-20.ユビキタス・センサネットワーク,一般セッション)
岡部 勇一, 福田 浩, 清倉 孝規, 新藤 一彦, 為近 恵美, 山口 初代, 宮平 真由美, 伊良波 朝人, 當山 弘哲, 上野 睦弘
電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2010 ( 2 ) 2010年8月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会 共著
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SPRセンサによる自己送液チップの流速評価
三浦 達, 堀内 勉, 高橋 淳一, 瀬山 倫子, 岩崎 弦, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 ( 0 ) 2234 - 2234 2010年8月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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非侵襲連続モニタリング血糖値センサに向けCW光音響法により新しいコンセプト
田島 卓郎, 芳賀 恒之, 為近 恵美
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 ( 0 ) 354 - 354 2010年8月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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Silicon wire waveguiding system: Fundamental characteristics and applications
Yamada K, Tsuchizawa T, Watanabe T, Takahashi J, Fukuda H, Takahashi M, Shoji T, Uchiyama S, Tamech … 全著者表示
Yamada K, Tsuchizawa T, Watanabe T, Takahashi J, Fukuda H, Takahashi M, Shoji T, Uchiyama S, Tamechika E, Itabashi S, Morita H 閉じる
ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN PART II-ELECTRONICS 89 ( 3 ) 42 - 55 2006年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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招待論文 シリコン細線導波路システム--基本特性と機能デバイスへの応用 (導波路型光デバイス論文特集)
山田 浩治, 土澤 泰, 渡辺 俊文, 高橋 淳一, 福田 浩, 高橋 光俊, 荘司 哲史, 内山 真吾, 為近 恵美, 板橋 聖一, 森田 博文
電子情報通信学会論文誌 C エレクトロニクス 88 ( 6 ) 374 - 387 2005年6月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会 共著
本論文ではシリコン細線導波路の基本導波特性の改善と, 各種機能デバイスへの適用について述べる. シリコン細線導波路システムの最も大きな問題でる光ファイバとの接続については, シリコン細線の極細テーパと酸窒化珪素系導波路とから構成されるスポットサイズ変換構造により, 0.5dBの低損失結合が可能となった. また伝搬損は, 導波路コア側壁のラフネス低減により, 2.4dB/cmにまで低減され, 実用レベルの基本導波特性が得られた. このシリコン細線導波路を用いたリング共振器やラティスフィルタは良好に動作し, 超小型光回路への適用性が確認された. 更に, 微小断面コアにおける高エネルギー密度効果として, 四波混合や二光子吸収キャリヤの効果が確認され, 非線形デバイスへのポテンシャルも見出された.
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Microphotonics devices based on silicon microfabrication technology
Tsuchizawa T, Yamada K, Fukuda H, Watanabe T, Takahashi J, Takahashi M, Shoji T, Tamechika E, Itaba … 全著者表示
Tsuchizawa T, Yamada K, Fukuda H, Watanabe T, Takahashi J, Takahashi M, Shoji T, Tamechika E, Itabashi S, Morita H 閉じる
IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS 11 ( 1 ) 232 - 240 2005年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Microphotonics devices based on silicon wire waveguiding system
Yamada K, Tsuchizawa T, Watanabe T, Takahashi JI, Tamechika E, Takahashi M, Uchiyama S, Fukuda H, S … 全著者表示
Yamada K, Tsuchizawa T, Watanabe T, Takahashi JI, Tamechika E, Takahashi M, Uchiyama S, Fukuda H, Shoji T, Itabashi SI, Morita H 閉じる
IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS E87C ( 3 ) 351 - 358 2004年3月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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初田 真知子, 福山 秀敏, 坂東 昌子, 加賀山 朋子, 石丸 有里, 初田 真知子, 小舘 香椎子, 石川 和枝, 松尾 由賀利, 高井 まどか, 為近 恵美, 五明 明子, 伊藤 香代子
日本物理學會誌 57 ( 6 ) 422 - 422 2002年6月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会 共著
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SOI-based photonic crystal line-defect waveguides
Yamada K, Notomi M, Shinya A, Yokohama I, Shoji T, Tsuchizawa T, Watanabe T, Takahashi J, Tamechika … 全著者表示
Yamada K, Notomi M, Shinya A, Yokohama I, Shoji T, Tsuchizawa T, Watanabe T, Takahashi J, Tamechika E, Morita H 閉じる
ACTIVE AND PASSIVE OPTICAL COMPONENTS FOR WDM COMMUNICATIONS II 4870 324 - 338 2002年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Fabrication and evaluation of submicron-square Si wire waveguides with spot size converters
Tsuchizawa T, Watanabe T, Tamechika E, Shoji T, Yamada K, Takahashi J, Uchiyama S, Itabashi S, Mori … 全著者表示
Tsuchizawa T, Watanabe T, Tamechika E, Shoji T, Yamada K, Takahashi J, Uchiyama S, Itabashi S, Morita H 閉じる
2002 IEEE/LEOS ANNUAL MEETING CONFERENCE PROCEEDINGS, VOLS 1 AND 2 287 - 288 2002年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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応用物理学会員の現状と課題-男女共同参画委員会アンケート報告-男女共同参画委員会アンケート企画グループ
渡辺 美代子, 為近 恵美, 堂免 恵, 岡田 佳子
応用物理 71 ( 5 ) 510 - 520 2002年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 応用物理学会 共著
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Short Spot-Size-Converters Using BCB Cores for Efficient Fiber Coupling
ARATAKE Atsushi, TAMECHIKA Emi, SUGITANI Suehiro, ARAI Kunihiro
Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 1999 470 - 471 1999年9月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Automatic generation of phase-shifting mask patterns using shifter-edge lines
Tamechika E, Watanabe T, Komatsu K
MICROELECTRONIC ENGINEERING 42 103 - 106 1998年3月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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Horiuchi Toshiyuki, Harada Katsuhiro, Matsuo Seitaro, Takeuchi Yoshinobu, Tamechika Emi, Mimura Yos … 全著者表示
Horiuchi Toshiyuki, Harada Katsuhiro, Matsuo Seitaro, Takeuchi Yoshinobu, Tamechika Emi, Mimura Yoshiaki 閉じる
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 34 ( 3 ) 1698 - 1708 1995年3月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：社団法人応用物理学会 共著
This paper describes the resolution enhancement by oblique illumination optical lithography using a transmittance-adjusted pupil filter that has a conjugate shape to the secondary light source. The resolution enhancement depends on the amplitude transmittance distribution of the pupil filter in the lens aperture. Thus, the optimum transmittance distribution attaining the highest resolution at a practical depth of focus is investigated, and superior performance is verified experimentally using an actual i-line stepper, that is, the actual resolution improvement is comparable to the simulation results. Despite this improvement, two problems must be addressed. Pattern profiles degrade at the ends of periodical patterns, and the opaque pattern widths of middle-pitch patterns become a little narrow. These two problems are solved by optimizing the transmittance distribution of the filter such that there is no significant deterioration in the high-resolution performance.
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Patterning Characteristics of Oblique Illumination Optical Lithography
Horiuchi Toshiyuki, Takeuchi Yoshinobu, Tamechika Emi, Mimura Yoshiaki, Matsuo Seitaro, Harada Kats … 全著者表示
Horiuchi Toshiyuki, Takeuchi Yoshinobu, Tamechika Emi, Mimura Yoshiaki, Matsuo Seitaro, Harada Katsuhiro 閉じる
Jpn J Appl Phys 33 ( 5 ) 2779 - 2788 1994年5月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：社団法人応用物理学会 共著
The patterning characteristics of oblique illumination lithography are investigated. When the reticle is illuminated obliquely, the pattern widths corresponding to the opaque parts of the reticle are apt to become thinner than those replicated by conventional optical lithography. This characteristic is verified by both analysis of the projected image intensity distribution and some patterning experiments. The double harmony of the periodical pattern image plays an important role in defining the pattern widths. We concluded that the lack of the double harmonic light waves caused the pattern shrinkage in the case of oblique illumination lithography. In recognizing the above differences, the exposure dose can be suitably controlled so as to attain high resolution and large focus latitude.
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RESOLUTION IMPROVEMENT USING AUXILIARY PATTERN GROUPS IN OBLIQUE ILLUMINATION LITHOGRAPHY
TAMECHIKA E, HORIUCHI T, HARADA K
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 32 ( 12B ) 5856 - 5862 1993年12月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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為近 恵美, 堀内 敏行, 原田 勝征
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 93 ( 300 ) 1 - 8 1993年10月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会 共著
斜入射照明法は解像限界を延ばし、瞳フィルタやt-πマスクといったコントラスト向上法と組み合わせて、さらに解像度および焦点深度を向上させる。しかし、孤立パタンについては効果が少なく、また周期パタン端部でパタン歪が生ずるという問題があった。これに対して、周期性を補うような補助パタン群APGを導入し、その効果やパラメータ特性を示した。また、実験によりAPGが孤立ラインの解像度を向上させ、周期パタン端部でのデフォーカス時の歪みを解消して焦点深度を向上させることを示した。
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Takeuchi Yoshinobu, Tamechika Emi, Harada Katsuhiro, HARADA Katsuhiro
Jpn J Appl Phys 31 ( 12 ) 4120 - 4125 1992年12月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：社団法人応用物理学会 共著
Annular illumination with a spatial filter, or SSBL (single-sideband optical lithography), has performance equivalent to phase shifting in optical column technology. This paper presents an analytical method for examining image deformation characteristics in optical projection systems including SSBL. We express image intensity as the sum of a symmetric and an antisymmetric component. Image deformation can be clearly observed by using the antisymmetric component. From the point of view of proximate interaction, we show that the real part of mutual intensity is useful in interpreting image deformations. Optical image deformations are unavoidable in the range of 0.2–0.3 $\mu$m at the KrF-line wavelength. We present a simplified correction method for mask data which reduces computational time.
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25〜29歳 (グロ-バリゼ-ション<特集>) -- (世代別エンジニアはこう考える(新春放談会))
加藤 玲子, 新海 雅彦, 高田 修, 為近 恵美, 依田 光正, 河合 正治
精密工学会誌 57 ( 1 ) p58 - 61 1991年1月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人精密工学会 共著
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河合 正治, 佐藤 一雄, 河西 正隆, 高浜 逸郎, 野際 靖雄, 松永 銕造, 加藤 玲子, 新海 雅彦, 高田 修, 為近 恵美, 依田 光正, 内山 隆, 奥野 昭宏, 喜多村 直
精密工学会誌 57 ( 1 ) 58 - 69 1991年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会 共著