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所属組織 |
大学院工学研究院 システムの創生部門 |
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職名 |
准教授 |
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研究キーワード |
三次元実装、先端パッケージングの要素技術 |
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ホームページ |
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関連SDGs |
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井上 史大 (イノウエ フミヒロ)
INOUE Fumihiro
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ORCID
学内所属歴 【 表示 ／ 非表示 】
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2021年4月-現在
専任 横浜国立大学 大学院工学研究院 システムの創生部門 准教授
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2024年4月-現在
併任 横浜国立大学 総合学術高等研究院 半導体量子集積エレクトロニクス研究センター 准教授
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2022年10月-現在
併任 横浜国立大学 先端科学高等研究院 准教授
学外略歴 【 表示 ／ 非表示 】
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2011年3月-2014年10月
imec 滞在研究員
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2013年4月-2014年10月
東北大学 日本学術振興会特別研究員
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2014年10月-2021年3月
imec 研究員
著書 【 表示 ／ 非表示 】
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Exploring Bond Strength for Advanced Chiplet with Hybrid Bonding
Fuse, J.; Iwata, T.; Yoshihara, Y.; Sano, M.; Inoue, F.（ 担当： 共著 , 範囲: vol28, (1) 39-45）
Chip Scale Review 2024年3月
記述言語：英語 著書種別：学術書
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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Water stress corrosion at wafer bonding interface during bond strength evaluation
Tomoya Iwata, Junya Fuse, Yuki Yoshihara, Yusuke Kondo, Marie Sano, Fumihiro Inoue
Materials Science in Semiconductor Processing 184 2024年8月 [査読有り]
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 単著
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Minimizing Recess of Cu Pad on Hybrid Bonding with SiCN via Non-selective Chemical Mechanical Polishing and Post-cleaning Steps
Kohei Nakayama, Kenta Hayama, Fabiana Lie Tanaka, Mai Thi Ngoc La and Fumihiro Inoue
ECS Journal of Solid State Science and Technology 13 ( 7 ) 2024年7月 [査読有り]
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 単著
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Annealing behaviors of open spaces and gas desorption in chemical vapor deposited SiO2 studied with monoenergetic positron beams
Akira Uedono, Ryu Hasunuma, Koki Onishi, Hayato Kitagawa, Fumihiro Inoue, Koji Michishio, Nagayasu … 全著者表示
Akira Uedono, Ryu Hasunuma, Koki Onishi, Hayato Kitagawa, Fumihiro Inoue, Koji Michishio, Nagayasu Oshima 閉じる
Journal of Applied Physics 136 ( 4 ) 2024年7月 [査読有り]
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 単著
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Temporary Direct Bonding by Low Temperature Deposited SiO<sub>2</sub> for Chiplet Applications
Onishi, K; Kitagawa, H; Teranishi, S; Uedono, A; Inoue, F
ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS 6 ( 4 ) 2449 - 2456 2024年4月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 共著
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近藤 悠介, 中村 雄三, 岩田 知也, 布施 淳也, 井上 史大
マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 33 226 - 228 2023年9月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：東京 : エレクトロニクス実装学会 共著
総説・解説記事等 【 表示 ／ 非表示 】
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Inoue, F. and Podpod, A. and Peng, L. and Phommahaxay, A. and Rebibis, K.J. and Uedono, A. and Beyn … 全著者表示
Inoue, F. and Podpod, A. and Peng, L. and Phommahaxay, A. and Rebibis, K.J. and Uedono, A. and Beyne, E. 閉じる
Journal of Manufacturing Processes 58 811 - 818 2020年 [査読有り]
記述言語：日本語 掲載種別：記事・総説・解説・論説等（大学・研究所紀要） 共著
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Film Characterization of Low-Temperature Silicon Carbon Nitride for Direct Bonding Applications
Nagano, F. and Iacovo, S. and Phommahaxay, A. and Inoue, F. and Sleeckx, E. and Beyer, G. and Beyne … 全著者表示
Nagano, F. and Iacovo, S. and Phommahaxay, A. and Inoue, F. and Sleeckx, E. and Beyer, G. and Beyne, E. and De. Gendt, S. 閉じる
ECS Journal of Solid State Science and Technology 9 ( 12 ) 2020年 [査読有り]
記述言語：日本語 掲載種別：記事・総説・解説・論説等（大学・研究所紀要） 共著
受賞 【 表示 ／ 非表示 】
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令和６年度科学技術分野の文部科学大臣表彰【若手科学者賞】
2024年04月 文部科学省
受賞者：井上史大 -
第30回半導体・オブ・ザ・イヤー2024 半導体製造装置部門 優秀賞
2024年06月 電子デバイス産業新聞（発行：株式会社産業タイムズ社） 「新たなチップ集積手法によるDie-to-Wafer ハイブリッド接合技術の開発
受賞者：井上史大 -
Best Student Award
2023年11月 ICPT2023
受賞者：Kohei Nakayama -
MES2022 ベストペーパー賞
2023年09月 エレクトロニクス実装学会 ハイブリッド接合に向けた化学機械研磨中の金属腐食挙動の解析
受賞者：岩田 知也、中山 航平、布施 淳也、蛯子 颯大、大西 洸輝、北川 颯人、井上 史大（横浜国立大学）
担当授業科目（学内） 【 表示 ／ 非表示 】
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2025年度 先端半導体製造特論
大学院先進実践学環
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2025年度 集積プロセススタジオＢ
大学院理工学府
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2025年度 集積プロセススタジオA
大学院理工学府
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2025年度 加工システム製作B
大学院理工学府
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2025年度 加工システム製作A
大学院理工学府
その他教育活動及び特記事項 【 表示 ／ 非表示 】
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2024年06月JPCAshow2024 アカデミックプラザ賞 (学生の学会賞等の受賞実績)
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2023年11月Best Student Presentation Award (学生の学会賞等の受賞実績)
メディア報道 【 表示 ／ 非表示 】
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チップレット集積の課題は山積み、うかうかできない日本企業
日経BP 日経XTECH 2024年2月
執筆者：本人以外
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「後工程から日本の半導体を盛り返したい」…横浜国立大准教授が3D集積技術に挑む
日刊工業新聞 日刊工業新聞 ニュースイッチ 2024年2月
執筆者：本人以外